【摘 要】
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本研究构思、设计、加工、组装了注射超声喷雾热分解制备薄膜装置,研究了装置制备薄膜的工艺.应用该方法分别在玻璃基片和硅片上面制备了铌酸锂薄膜,研究通过正交试验设
【机 构】
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北京石油化工学院,北京 102617
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本研究构思、设计、加工、组装了注射超声喷雾热分解制备薄膜装置,研究了装置制备薄膜的工艺.应用该方法分别在玻璃基片和硅片上面制备了铌酸锂薄膜,研究通过正交试验设计、接触角测试、扫描电镜、XRD、原子力显微镜等检测,测定了铌酸锂薄膜的结构、表面形貌,得到该方法制备铌酸锂薄膜的优化工艺条件.试验和研究表明,仪器设计达到目标.对制备的铌酸锂薄膜采用正交表得到的结论,正交选择：当实验条件为推进量2ml,推进速率0.1ml/min,衬底温度200℃,退火温度600℃时,薄膜的XRD 曲线,表面形貌最优.新的制备薄膜装置采用注射超声雾化手段,克服其雾化不均问题.
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