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伺服阀滑阀阀口流量特性对于滑阀副叠合量的测量以及滑阀加工质量综合评定具有重要意义，其特性曲线线性段可用于计算叠合量，非线性段可用于评价滑阀加工质量。
本文对采用气动流量法测量阀口特性进行了深入分析，提出了一种应用新型热式质量流量传感器进行阀口流量特性自动化测量的方法，研制了基于AWM2300热式质量流量传感器的阀口流量特性和滑阀副叠合量的自动化气动测量装置。通过大量的实验考察了该测量系统的测量精度、重复性精度及系统误差，并与气动压力法测量结果进行了对比性试验分析。实验结果表明气动流量法测量的不重复性误差不超过±0.5μm，完全能够满足伺服阀滑阀实际测量中的精度要求。