【摘 要】
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借助离子束溅射制备不同膜态组合的Sm-Fe-B/NiFe多层膜振动元件,所采用的Sm-Fe-B与NiFe耦合膜厚度比分别为3∶1和1∶1.实验结果表明:在设计方案中,耦合膜厚比为3∶1的元件振
【机 构】
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福州大学,材料科学与工程学院,福州,中国,350108
【出 处】
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2011中国功能材料科技与产业高层论坛
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借助离子束溅射制备不同膜态组合的Sm-Fe-B/NiFe多层膜振动元件,所采用的Sm-Fe-B与NiFe耦合膜厚度比分别为3∶1和1∶1.实验结果表明:在设计方案中,耦合膜厚比为3∶1的元件振动特性最佳,表现出优异的同步性、波形稳定性和共振工作点(频率)小等优点.基于传递矩阵的理论基础,建立多层膜元件的振动模型,通过MATLAB对振动模型进行计算模拟,分析多层膜元件振动特性,传递矩阵模型的计算结果与实验数据吻合良好,对水声微执行器的设计具有指导意义.
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