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ＳＥＭ在非晶硅薄膜生长机理研究中的应用
【机 构】
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大学电子科学系(西安)
【出 处】
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第一届全国扫描电子显微学会议
【发表日期】
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1999年期
其他文献
将Fe—W非晶镀层在锌系磷化液中进行磷化处理，表面形成致密的磷化膜。阳极极化曲线表明。磷化后镀层的孔蚀电位正移约1.4v，明显改善了镀层抗Cl的腐蚀能力。浸泡实验表明，磷化后F
该文详细研究了液晶光阀光导层用的非晶硅薄的电阻，电容特性。发现薄膜在直流状态下具有良好的光电性能，亮、暗电阻比可达１０〈’２．５〉；交流状态下，随频率改变，电容变化不大，电阻变化较大