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纳米加工技术的崛起和发展,为新颖纳米器件的发展提供了强大的技术支撑。其中纳米压印曝光技术和基于表面纳米结构特殊光学性质的新颖光学器件,引起了人们极大的关注,本文介绍了这一领域的发展简况。
纳米压印技术、表面纳米结构及新颖光学器件研究
【摘 要】
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纳米加工技术的崛起和发展,为新颖纳米器件的发展提供了强大的技术支撑。其中纳米压印曝光技术和基于表面纳米结构特殊光学性质的新颖光学器件,引起了人们极大的关注,本文介
【机 构】
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上海交通大学微纳科学技术研究院,上海200030
【出 处】
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第三届上海纳米科技与产业发展研讨会
【发表日期】
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2006年期
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