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采用等离子弧气相法制备了Sb2O3、ZnO、Bi2O3、Ag粉等纳米电子材料，经检测粉末材料的纯度都在99.9%以上。本工艺为纳米电子粉体材科的批量生产提供了可靠的依据.
等离子气相法制备电子粉体材料
【摘 要】
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采用等离子弧气相法制备了Sb2O3、ZnO、Bi2O3、Ag粉等纳米电子材料，经检测粉末材料的纯度都在99.9%以上。本工艺为纳米电子粉体材科的批量生产提供了可靠的依据.
【机 构】
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常德市耀弘纳米科技有限责任公司,常德,415001
【出 处】
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中国电子学会敏感技术分会第十五届电压敏学术年会
【发表日期】
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2008年9期
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