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数字光学轮郭仪用于测量物体表面的微观轮廓，从中获得表面粗糙度等信息。该文首先分析了单波长法的测量范围受到限制的原因，介绍了适应于多波长情况下的测量原理，并对各自的优缺点进行了分析。
多波长扫描法测量物体表面微观轮郭
【摘 要】
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数字光学轮郭仪用于测量物体表面的微观轮廓，从中获得表面粗糙度等信息。该文首先分析了单波长法的测量范围受到限制的原因，介绍了适应于多波长情况下的测量原理，并对各自的优缺
【机 构】
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上海大学精密机械工程系(上海嘉定)
【出 处】
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中国仪器仪表学会精密机械分会99'精密工程学术讨论会
【发表日期】
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1999年期
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