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针对衍射限成像光刻系统成像特性，提出用共轭滤波的方法，通过滤波使低频部分减小,提高光刻分辨力。结果表明，光瞳滤波能进一步提高光刻分辨力和焦深。
用于光刻滤波器的设计研究
【摘 要】
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针对衍射限成像光刻系统成像特性，提出用共轭滤波的方法，通过滤波使低频部分减小,提高光刻分辨力。结果表明，光瞳滤波能进一步提高光刻分辨力和焦深。
【机 构】
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科学院光电技术研究所微细加工光学技术国家重点实验室(成都)
【出 处】
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第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
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1999年期
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