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外延生长是半导体材料和器件制造的最关键的工艺技术,半导体材料和器件的生长技术主要分为两类:金属有机化合物化学气相外延和分子束外延(MBE).本文主要介绍一些基于MBE技术较新的光纤通信领域的光电子材料和器件.
基于分子束外延技术的光通信用光电子器件
【摘 要】
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外延生长是半导体材料和器件制造的最关键的工艺技术,半导体材料和器件的生长技术主要分为两类:金属有机化合物化学气相外延和分子束外延(MBE).本文主要介绍一些基于MBE技术
【机 构】
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集成光电子学国家重点实验室·清华大学电子工程系(北京)
【出 处】
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第六届全国分子束外延学术会议
【发表日期】
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2001年期
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