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扫描电镜除了能够有效地观察试样的形貌之外，还具有能提供电压衬度象、束感生电流象、背散射电子象和吸收电子象等光学显微镜所达不到的功能。该文主要讨论了电压衬度象和束感生电流象在半导体器件失效分析中的几例应用。束感生电流技术可以观察PN结结区位置及缺陷、集成电路的隔离区、扩散电阻以及测量平面结的结深。（李大光摘）