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根据平面电感耦合微波等离子体源理论，采用自谐振方式，设计了一个谐振频率在2.45GHz的渐变结构式平面微带螺旋天线。为了得到ICPS的最佳性能，对不同介质进行数值仿真。研究结果表明，介质基片的介电常数对谐振频率影响很大，介电损耗角正切也影响品质因素。
平面渐变螺旋ICPS介质基片对性能的影响
【摘 要】
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根据平面电感耦合微波等离子体源理论，采用自谐振方式，设计了一个谐振频率在2.45GHz的渐变结构式平面微带螺旋天线。为了得到ICPS的最佳性能，对不同介质进行数值仿真。研究
【机 构】
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华东师范大学信息学院电子系,上海 200241
【出 处】
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第十五届全国微波能应用学术会议
【发表日期】
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2011年期
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