【摘 要】
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本文设计了一种用于气体传感器的300MHz两端对SAW谐振器型振荡器，并测试了其短期和中期频率稳定性。另外，通过对其表面敏感膜区域进行聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物镀膜实验，分
【机 构】
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中国科学院声学研究所,北京,100190
【出 处】
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2010中国西部地区声学学术交流会
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本文设计了一种用于气体传感器的300MHz两端对SAW谐振器型振荡器，并测试了其短期和中期频率稳定性。另外，通过对其表面敏感膜区域进行聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)聚合物镀膜实验，分析了聚合物膜材料对谐振器器件频响特性特别是衰减效应的影响，为进一步研究基于聚合物敏感膜的声表面波谐振器结构气体传感器提供了实验基础和依据。
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