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<正>我们最近的研究发现重掺磷直拉硅单晶与轻掺磷直拉硅单晶相比有更高密度的原生氧沉淀。本文通过模拟直拉硅晶体生长的冷却过程,对比研究了重掺磷和轻掺磷直拉硅单晶的
重掺磷直拉硅单晶中的原生氧沉淀
【摘 要】
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<正>我们最近的研究发现重掺磷直拉硅单晶与轻掺磷直拉硅单晶相比有更高密度的原生氧沉淀。本文通过模拟直拉硅晶体生长的冷却过程,对比研究了重掺磷和轻掺磷直拉硅单晶的
【发表日期】
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2009年期
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