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对微机电系统(MEMS)旋转机械,尤其是微旋转机械中微电机和动力MEMS的研究现状进行评述,介绍微电机和动力MEMS的发展历程,探讨微旋转机械的动力驱动和微尺度效应,示例阐述微电机和动力MEMS的应用前景和影响因素,并对相关领域的研究进展进行展望.
微型旋转机械研究进展
【摘 要】
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对微机电系统(MEMS)旋转机械,尤其是微旋转机械中微电机和动力MEMS的研究现状进行评述,介绍微电机和动力MEMS的发展历程,探讨微旋转机械的动力驱动和微尺度效应,示例阐述微电
【机 构】
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上海交通大学 机械系统与振动国家重点实验室,上海 200240
【出 处】
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第8届全国转子动力学学术讨论会
【发表日期】
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2008年期
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