矩形膜状电阻激光微调的计算机辅助优化

来源 :第七届全国混合集成电路学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:fenglu84
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近年来的研究表明,激光微调时,在切口的边缘形成受热作用区(Heat-Affected-Zone或简称HAZ),使该区域电阻材料的性能发生变异,电阻的性能(如TCR等)变差,HAZ对整个电阻性能的影响已由J.Ramirez做了说尺的理论研究。根据J.Ramirez所提出的表征受热作用区的敏感性参数S,编制了CBLTOP程序,对矩形膜状电阻的直进切口IP-CUT)和“L”形切口激光微调进行了计算机辅助优化。该文简要描述了CBLTOP程序;介绍了对一个具体矩形膜状电阻激光微调的计算机模拟;对模拟所获得的数据进行了分析,引出了对一般矩形电阻进行激光微调获得最佳效果的几点有益结论。
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