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外延生长技术是半导体材料和器件制造的重要工艺，特别是液相外延(LPE)和金属有 机物气相外延(MOVPE)技术得到了尤其广泛的应用。该文在分析LPE和MOVPE外延生长技术的 工艺特点和薄膜特性的基础上，重点从热力学相平衡的角度，研究适合于半导体生长的成分空间。对比分析结果表明：LPE和MOVPE外延技术具有一些共同的优点和特点，而在另一方面它们又可以取长补短、互为补充。