【摘 要】
：
本文报告了为深圳国家“八六三”计划材料表面工程技术研究开发应用中心研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机.该机的真空室由不锈钢制成,外侧分层覆盖有永磁体、
【出 处】
：
'2001全国荷电粒子源粒子束学术会议
论文部分内容阅读
本文报告了为深圳国家“八六三”计划材料表面工程技术研究开发应用中心研制开发的新一代全方位离子注入及增强沉积工业机.该机的真空室由不锈钢制成,外侧分层覆盖有永磁体、冷却水管、软铁、铅皮及装饰不锈钢板,用于冷却、在真空室内形成增强的多极会切磁场和满足X射线防护要求.该机直径900毫米,高1050毫米,立式放置,抽气系统由分子泵及机械泵构成并且实现了PLC控制,本底真空小于4×10<-4>Pa.气体等离子体可由热阴极放电产生,另外配有三个高效磁过滤式金属等离子体源产生金属等离子体.真空室顶部预留了法兰口并配有冷却靶台.因此该机可实现全方位离子注入或增强沉积成膜.该机的负高压脉冲幅值为10-80kV,重复频率为50-500Hz,脉冲上升沿小于2μs,并且可根据需要产生脉冲串.一般地等离子体密度为10<8>-10<10>cm<-3>,膜沉积速率为0.1-0.5nm/s.文中亦报道了一些实验及应用结果.
其他文献
本文探讨了建筑类型学的思维起源和心理学基础以及在运用建筑类型学进行设计时的思考角度和思维方式。
在英语中，句子的谓语动词在人称和数上必须和主语保持一致，这就是我们通常所说的“主谓一致”。 ◎要点梳理 “主谓一致”一般遵循语法一致、意义一致和就近一致三个原则。 一、语法一致原则 语法一致原则是指谓语动词要与主语在语法形式上保持一致，即谓语动词用单数形式还是复数形式取决于主语的单、复数形式。 1.在以?s（或?es）结尾的人名前加定冠词the用来表示一家人、夫妻两个人或同名同姓的若干人
☆考点回放rn状语从句、宾语从句和定语从句被称为初中阶段的“三大从句”,在各地的中考英语试题中,几乎都有它们的身影. 现结合2018年各地的中考真题,对“三大从句”的考点
随着基础建设速度的大大加快，大量桥梁的修建，使得交通变得十分便利。然而桥梁结构长期在自然环境和使用环境的作用下慢慢产生损伤，变得难以适应当今交通的发展。因此，桥梁的检测
译文助读 我們在社交媒体上晒照之前，都会用一种应用程序来磨皮，放大双眼，加长睫毛，丰满唇形。我们只需在手机上轻点几下，便能快速修图，向全世界展现“最好”的自己。 然而，这么做的问题在于，当我们简单地用修图去掉自身瑕疵的同时，也改变了看待自己的方式。上个月，来自美国波士顿大学医学院的研究人员发表了一篇文章。“这些应用程序几分钟内就能改变一个人的外表，让人追求一种不切实际的美。”该文章写道。研究人
在城市的道路下铺设地下管线种类越来越多，受到城市道路地下空间的约束，管线的综合规划以及建设显得尤为重要。联系工程实践，探讨了管线综合规划的思路、结合管沟内部管线布置的
等离子体浸没离子注入是传统离子注入的一个新发展.与工件外表面的注入不同,内表面的等离子体浸没离子注入存在空间和时间上的尺度.本文围绕这一主题展开了讨论.研究表明,由
本文作者结合多年来的工作经验,概述了电力系统自动化与智能技术,分析了几种常见智能技术在电力系统自动化中的有效应用,以确保系统安全稳定健康的运行.
“年年岁岁花相似，岁岁年年人不同。”一年一度的中考英语第一轮复习就要开始了。 第一轮复习涉及的内容广泛，知识点多。面对这样的挑战，有些同学往往会不知所措。 那么，如何能顺利地吃下第一轮复习这顿饕餮大餐呢？下面我从四个方面与大家进行交流： 一、手中有粮心不慌 一般来说，第一轮复习前班级会统一指定《××同步复习》等资料书，并要求同学们人手一本，供课堂上使用。由于好多资料书的内容都大同小异，所以
第三代多功能等离子体浸没离子注入(PIII)装置已于2000年6月在成都,西南交通大学正式验收,并被用于材料表面改性的研究与开发工作.与第一代多功能PIII装置不同的是该装置更强