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AlN/蓝宝石模板上生长的Al0.6Ga0.4N薄膜结构性能与光学性能的研究
【机 构】
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广东省工业技术研究院,广州 510650
【出 处】
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2013广东材料发展论坛暨战略性新兴产业发展与新材料科技创新研讨会
【发表日期】
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2013年期
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