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该文报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果上结合工艺条件，最终确定结构参数。实际工艺上用浓硼扩散自停止腐蚀方法，制造高灵敏度的膜岛结构。
一种对称电容式微差压伺服传感器
【摘 要】
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该文报道一种测量差压值在1Pa-100Pa左右的高灵敏度差压传感器。在有限元分析的方法对结构进行形变模拟的基础上，对差压传感器的电容值和伺服电压值进行了理论计算。在此结果
【机 构】
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中国科学院上海冶金研究所传感技术国家重点实验室
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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