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大口径KDP 晶体的材料特性对超精密加工设备性能提出极高的要求，目前国内外都采用单点金刚石刀具飞切加工的方法，本文在立式空气静压主轴超精密飞切机床分析研究工作的基础上，提出利用液体的高阻尼特性弥补空气阻尼低、抑振困难的缺陷，设计出立式液体静压主轴结构，重点研究了止推油膜厚度对止推油膜、立式主轴的最高温升及承载力的影响规律。