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来源 :第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议 | 被引量 : [!--cite_num--]次 | 上传用户:[!--user--]
【作 者】
:
叶志镇
陈伟华
【机 构】
:
大学
【出 处】
:
第九届全国半导体集成电路、中国有色金属学会硅材料学术会议
【发表日期】
:
1995年期
【关键词】
:
硅片
外延
电阻丝
辐射加热
稳态
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