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采用化学腐蚀法制备硅基太阳能电池表面高陷光纳米减反结构。室温下利用HF、HNO3、H2O2、C2H5OH、异丙醇不同配比的混合溶液进行了实验对比。利用电子显微镜(SEM)观察表面形貌，利用量子测量系统测试其反射率，并与电池裸片和常规电池的金字塔反射率做比较。总结出了化学腐蚀法所获得的纳米结构对提高电池的陷光都有很重要的作用，尤其是在短波段下，其反射率是金字塔也无法比拟的。