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该工作报道了低应力立方氮化硼薄膜。TEM测量表面薄膜表面是一层纯立方氮化硼。红外光谱结果表明在这个层与基底之间是由E-BN和W-BN组成的中间层。该工作提出了薄膜生长过程中可比经历了一个从E-BN和W-BN到c-BN的相转变。
高品质立方氮化硼薄膜
【摘 要】
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该工作报道了低应力立方氮化硼薄膜。TEM测量表面薄膜表面是一层纯立方氮化硼。红外光谱结果表明在这个层与基底之间是由E-BN和W-BN组成的中间层。该工作提出了薄膜生长过程
【机 构】
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大学超硬材料国家重点实验室,超分子结构与谱学开放实验室(长春)
【出 处】
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第三届中国功能材料及其应用学术会议
【发表日期】
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1998年期
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