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金刚石膜因其优良的热导率和良好的电绝缘性能，为制造先进的半导体热沉创造了极好的条件。Ｐ．Ｇｏｎｏｎ等和Ｂ．Ｆｉｅｇｌ采用不同后续处理工艺对金刚石膜电绝缘性能做了系统研究，但后续处理对金刚石膜电