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微压传感顺在实际使用过程中的抗过载强度是一个很重要的参数。该文对微压传感器的过压失效进行分析和研究，提出硅膜应力匀散和双层背岛限位新结构，使0.5kpa量程的微压传感器抗过载强度提高到100倍满量程以上。
微压传感器中的抗过载技术研究
【摘 要】
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微压传感顺在实际使用过程中的抗过载强度是一个很重要的参数。该文对微压传感器的过压失效进行分析和研究，提出硅膜应力匀散和双层背岛限位新结构，使0.5kpa量程的微压传感器抗
【机 构】
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复旦大学电子工程传感器研究室(上海)
【出 处】
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第六届全国敏感元件与传感器学术会议
【发表日期】
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1999年期
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