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电子束曝光机中的数控物镱电流源
电子束曝光机中的数控物镱电流源
来源 :第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会 | 被引量 : 0次 | 上传用户:digitalmachinel
【摘 要】
:
介绍了数控物镜电流源的原理、设计方法以及关键元器件的选择;印制电路板工艺设计要点;噪声干扰的处理。
【作 者】
:
王迪平
【机 构】
:
产业部电子第48研究所(长沙)
【出 处】
:
第十届全国电子束、离子束、光子束学术年会
【发表日期】
:
1999年期
【关键词】
:
电子束曝光机
数控
印制电路板
关键元器件
噪声干扰
设计要点
设计方法
电流源
原理
选择
物镜
工艺
处理
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介绍了数控物镜电流源的原理、设计方法以及关键元器件的选择;印制电路板工艺设计要点;噪声干扰的处理。
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