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该文通过对干波显微镜标准装置用于开展表面粗祺量值传递工作时的不确定度分量、自由度进行分析和计算，以确定干涉显微镜标准装置的合成标准不确定和扩展（总）个确定度，并对该标准装置的重复性和稳定性进行了（考核）对其个确定进行验证。
干涉显微镜标准装置开展表面粗糙量值传递的不确定度
【摘 要】
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该文通过对干波显微镜标准装置用于开展表面粗祺量值传递工作时的不确定度分量、自由度进行分析和计算，以确定干涉显微镜标准装置的合成标准不确定和扩展（总）个确定度，并对该标准
【机 构】
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空气动力研究与发展中心计量测试站
【出 处】
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第三届第五次全国气动实验测控自动化技术交流会
【发表日期】
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1998年10期
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