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器件终端处的界面电荷密度是一个影响场限制环终端增压效果的敏感参数，尚无准确的测量方法。该文用数值模拟方法算得了环电位的理论曲线；用实验测量了环电位实验曲线。在此基础上提出了一种通过拟合理论和实验环电位变化曲线而得到实际器件终端处界面电荷密度的方法，可成为考核设计、指导工艺的有用手段。
用环电位测量来研究器件结构参数初探
【摘 要】
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器件终端处的界面电荷密度是一个影响场限制环终端增压效果的敏感参数，尚无准确的测量方法。该文用数值模拟方法算得了环电位的理论曲线；用实验测量了环电位实验曲线。在此基础
【机 构】
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大学电子物理研究所
【出 处】
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中国电工技术学会电力电子第六次全国学术会议
【发表日期】
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1997年期
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