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利用COMSOL有限元分析软件，建立了在连续高能激光辐照下熔融石英基片热形变分析模型，并针对基片在不同的夹持方式下的热形变进行了比较分析。研究结果表明，采用四周固定的方式，热形变量是最小的。此外，还利用VirtualLab软件定量分析了熔融石英基片热形变对光束质量的影响。基片的热形变会对光束质量造成影响，激光辐照时间越长，热形变量越大，对光束质量影响越大。