【摘 要】
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Parylene C薄膜（Poly（ehloro-p-xylylene）），简称PC膜，具有优良的物理机械性能、抗溶剂腐蚀以及气体与水汽阻隔性能，是材料与电子器件防潮包覆的理想材料。PC膜也是一种典型的半结晶
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Parylene C薄膜（Poly（ehloro-p-xylylene）），简称PC膜，具有优良的物理机械性能、抗溶剂腐蚀以及气体与水汽阻隔性能，是材料与电子器件防潮包覆的理想材料。PC膜也是一种典型的半结晶性聚合物，退火处理可改善其微观组织结构，提高其相对结晶度，提高其热稳定性。同时，退火处理也会使PC膜发生热降解，在含氧气氛中退火时，还将发生膜的热氧化与降解。
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