阴极电沉积ZnO薄膜的取向控制生长

来源 :第四届全国氧化锌学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户:sngt73
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随着取向的不同,ZnO薄膜在许多性质方面都表现出较大差别,因此在生长过程中控制ZnO薄膜的取向对于其实际应用是非常重要的。目前文献报道的用各种物理或化学方法制备的择优取向ZnO薄膜基本上都是沿c轴(<002>轴)生长的。本文采用阴极电沉积方法,在Zn(NO3)2+KNO3的混合水溶液中,以304不锈钢(ss)为衬底制备了沿小同晶向择优取向生长的ZnO溥膜。
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