【摘 要】
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在半导体照明市场规模迅速成长的情况下,作为行业上游关键制造设备的MOCVD,国产化MOCVD设备在市场推广方面取得了阶段性的成果.作为代表的ProMaxyTM MOCVD具备多项含有核心竞
【机 构】
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中晟光电设备(上海)有限公司,上海201203
【出 处】
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第十四届全国LED产业发展与技术研讨会
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在半导体照明市场规模迅速成长的情况下,作为行业上游关键制造设备的MOCVD,国产化MOCVD设备在市场推广方面取得了阶段性的成果.作为代表的ProMaxyTM MOCVD具备多项含有核心竞争力的关键技术,本文对这些硬件关键技术和相应开发的外延关键工艺技术进行了讨论,本文同时还对通过ProMaxyTM MOCVD设备所生长的各项单层工艺和LED外延性能指标进行了测试和验证.
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