【摘 要】
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自旋阀读出头结构主要由自由层、非磁间隔层、被钉扎层和钉扎层构成.由于感应式写头/SV读出头是一个用集成工艺制作成的整体双元头,因此SV磁头中还必须有屏蔽层.技术上要求被
【出 处】
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第四届中国功能材料及其应用学术会议
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自旋阀读出头结构主要由自由层、非磁间隔层、被钉扎层和钉扎层构成.由于感应式写头/SV读出头是一个用集成工艺制作成的整体双元头,因此SV磁头中还必须有屏蔽层.技术上要求被钉扎层的易轴垂直于下屏蔽层的易轴,而被钉扎层的易轴是由钉扎层的易轴决定的.为了形成钉扎层的反铁磁相,一些性能优越的钉扎层材料(如NiO、NiMn等)往往又需要在磁场下进行260℃退火.这一退火过程就使得屏蔽层易轴转动了90°,与被钉扎层易轴方向一致.这是不允许的.为此,我们对屏蔽层进行了沿易轴方向加磁场的预退火.结果证明:310℃以上的预退火温度下退火2h,即可解决这一问题.
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