热等离子体化学气相沉积氧化物半导体薄膜及其光学性质

来源 :第九届全国凝聚态光学性质学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：mfktadxxxa

【作者】

：

唐振方钟红海莫党

【机构】

：

广州分析测试中心,中山大学物理系广州分析测试中心大学物理系(广州)

【出处】

：

第九届全国凝聚态光学性质学术会议

【发表日期】

：

1998年8期

【关键词】

：

等离子体气相沉积氧化物半导体薄膜光学性质

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