【摘 要】
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利用熔盐反应法,成功地在SiC陶瓷表面制备了Ti金属化薄膜.研究了金属化处理温度和时间对薄膜显微结构的影响,结果表明,随着温度和时间的增加,薄膜中的NaTiCl相减少,TiSi相增
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利用熔盐反应法,成功地在SiC陶瓷表面制备了Ti金属化薄膜.研究了金属化处理温度和时间对薄膜显微结构的影响,结果表明,随着温度和时间的增加,薄膜中的Na<,2>Ti<,3>Cl<,8>相减少,Ti<,5>Si<,3>相增加.通过观察不同处理时间薄膜的表面形貌,发现该薄膜的生长方式为核生长型.并对薄膜的形成过程进行了讨论.
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