Pt/Mg0.6Zn0.4O/Pt器件不同电极模式的电致阻变特性比较

来源 :中国物理学会2012年秋季学术会议 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xiaoxiaoxiaoren

【摘要】

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采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上获得了具有混合相(立方相和类尖晶石矿相)结构的Mg0.6Zn0.4O薄膜,薄膜表面光滑致密、颗粒均匀.并研究了由两表面电极、表面/底电极和薄

【作者】

：

陈心满胡伟包定华

【机构】

：

华南师范大学光电子材料与技术研究所广东广州 510631

【出处】

：

中国物理学会2012年秋季学术会议

【发表日期】

：

2012年期

【关键词】

：

器件表面电极模式薄膜组成表面光滑 sol-gel法类尖晶石立方相

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采用sol-gel法在Pt/TiO2/SiO2/Si衬底上获得了具有混合相(立方相和类尖晶石矿相)结构的Mg0.6Zn0.4O薄膜,薄膜表面光滑致密、颗粒均匀.并研究了由两表面电极、表面/底电极和薄膜组成Pt/Mg0.6Zn0.4O/Pt器件(分别简称为MZO-T和MZO-B)其电致阻变特性的差异.

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