【摘 要】
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密封器件的氦质谱细检漏技术分压氦法(即背压法)和预充氦法两种.地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染,使环境氦分压超过地球干洁大气
【机 构】
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兰州空间技术物理研究所真空低温技术与物理国家级重点实验室
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密封器件的氦质谱细检漏技术分压氦法(即背压法)和预充氦法两种.地球干洁大气中含有少量氦气；压氦时通常会产生检漏用氦气对环境大气的污染,使环境氦分压超过地球干洁大气中的氦分压.本文分别推导和分析了压氦法候检环境大气中氦分压的影响和预充氦法地球干洁大气中氦分压的影响.对于压氦法,在任务允许的最大标准漏率不超过1.4Pa×cm3/s,最小测量漏率小到1×10-6Pa×cm3/s,候检时间不超过最长候检时间,密封器件的内腔有效容积不超过102cm3量级的情况下,不需要考虑地球干洁大气中氦分压的影响,但是如果候检环境大气中氦分压显著超过地球干洁大气中的氦分压,就可能加大测量漏率值.
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