双CGH近似共光路检测离轴凸非球面检测精度分析

来源 :2012年全国光学工程博士生论坛 | 被引量 : 0次 | 上传用户:xmg11860
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  双计算全息(CGHs)近似共光路检测系统可以用来检测离轴凸非球面.系统中,一片CGH矫正参考光系统中的残余球差,另外一块CGH矫正离轴非球面带来的残余像差.检测系统中大部分光学零件为近似共光路元件,检测系统对近似共光路光学零件制造误差要求低.本文以某一个检测系统为例,分析了其检测精度.分析结果表明,该检测系统可以达到1/40λRMS(λ=0.6328um)的检测精度,满足检测要求.
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