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本文介绍了一种基于硅微技术的微继电器的抗冲击结构设计.文中重点给出了具体设计结构及计算.
静电致动硅微继电器的抗冲击设计
【摘 要】
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本文介绍了一种基于硅微技术的微继电器的抗冲击结构设计.文中重点给出了具体设计结构及计算.
【机 构】
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华北工学院(山西太原)
【出 处】
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中国兵工学会第10届测试技术研讨会
【发表日期】
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2000年期
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