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研究了失效的量子级联激光器前腔面的情况，首先，通过扫描电镜(SEM)很明显的可以看到前腔面不再平整，取而代之的是有很多的裂纹和缺陷凹凸不平。其次用X射线能谱仪(EDS)进行了分析，可以得到量子级联激光器损坏的原因，即有源区损坏严重，原子的扩散，使得组分严重偏离最初的设计，不再满足出光的条件。理论和实验的结果符合的很好。