【摘 要】
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对不同多层铜/铜,铜/镍膜进行SEM下的原位三点弯曲试验,研究了不同弯曲曲率下薄膜间裂纹萌生与扩展以及皱褶发生与曲率间的变化关系,结果表明,当弯曲强度达到148MPa时,单层铜
【机 构】
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清华大学航天航空学院 北京 100084
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对不同多层铜/铜,铜/镍膜进行SEM下的原位三点弯曲试验,研究了不同弯曲曲率下薄膜间裂纹萌生与扩展以及皱褶发生与曲率间的变化关系,结果表明,当弯曲强度达到148MPa时,单层铜膜首先发生皱褶,皱褶表现为正弦波形,随着载荷的增加,薄膜最容易在皱褶的"谷底"出现断裂.而多层薄膜的试验结果表明在130MPa时,薄膜与基体发生开裂,但层间没有被破坏.因此,单层比多层薄膜抵抗弯曲破坏阻力高.层数和材料匹配的变化导致破坏模式从皱褶-薄膜开裂-薄膜脱粘和开裂的变化.
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