【摘 要】
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MoS2作为固体润滑剂已有多年应用历史,广泛应用在轴承、齿轮、设备以及机械加工等国防、机械、电子等行业中.MoS2 在真空中具有非常优异的润滑性能,在航空航天领域的极端
【机 构】
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广东省工业技术研究院(广州有色金属研究院)新材料研究所,广东广州,510650
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MoS2作为固体润滑剂已有多年应用历史,广泛应用在轴承、齿轮、设备以及机械加工等国防、机械、电子等行业中.MoS2 在真空中具有非常优异的润滑性能,在航空航天领域的极端工况下得到成功应用.然而MoS2 对环境气氛敏感,在潮湿的大气下MoS2 易于吸附周围环境的氧或水汽,导致其润滑性能恶化甚至失效,这大大限制了MoS2 在潮湿空气中的广泛应用.本文采用离子源辅助磁控溅射技术制备Ti 掺杂MoS2 复合膜,研究了不同Ti 掺杂量对复合膜结构以及性能的影响,同时研究了离子源在复合膜沉积中的影响作用.结果表明：掺杂Ti 后薄膜结构由纯MoS2疏松的柱状晶结构变成致密结构,XRD 结果表明MoS2 以非晶形态存在.Ti 掺杂量对复合膜的结合力有很大影响,当Ti 含量在11.7at％时复合膜具有良好的结合力,洛氏压痕等级达到HF1.大气环境下的摩擦磨损结果表明,Ti 掺杂MoS2 复合膜具有良好的润滑效果和优异的耐磨性能,复合膜的摩擦系数在0.07～0.1 之间,耐磨寿命远远高于纯MoS2 薄膜的耐磨寿命.离子源辅助沉积对薄膜的性能有很大影响,与无离子源辅助沉积相比,有离子源辅助沉积复合膜耐磨性能显著提高.
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