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HF恒定化学蚀刻速率法和角度抛光法是常用的两种亚表面损伤破坏性检测方法。本文通过对传统的两种方法进行改进，降低了外界环境和操作误差对测量结果的影响，从而有效提高了测量效率和准确性。最后针对典型光学材料，采用两种测量方法对试件的亚表面损伤进行测量，并对两种测量方法的测量结果进行了对比分析。
光学材料亚表面损伤破坏性测量方法的比较研究
【摘 要】
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HF恒定化学蚀刻速率法和角度抛光法是常用的两种亚表面损伤破坏性检测方法。本文通过对传统的两种方法进行改进，降低了外界环境和操作误差对测量结果的影响，从而有效提高了测量
【机 构】
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军事交通学院,天津300161
【出 处】
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第十四届全国机械设计年会
【发表日期】
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2008年期
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