【摘 要】
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利用飞行时间质谱仪(Time of Flight)诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态分布以及离子扩散速度。实验结果表明,脉冲真空弧离子源放电等离子体的
【机 构】
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中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900清华大学工程物理系北京100084中国工程物理研究院电子工程研究所四川绵阳621900
【出 处】
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2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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利用飞行时间质谱仪(Time of Flight)诊断了含氢电极脉冲真空弧离子源放电等离子体成分、离子电荷状态分布以及离子扩散速度。实验结果表明,脉冲真空弧离子源放电等离子体的成分主要由H+、Ti+、Ti2+和Ti3+组成,其中Ti2+占主要部分。Ti离子的平均电荷数在1.95～2.13之间,随着放电电流的增大,平均电荷数也会增加。测量了等离子体不同离子的扩散速度,在104m/s量级,但不同离子的扩散速度有所不同。
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