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含氧体系低压金刚石的制备由于氧的存在，能够改善金刚石薄庆质量，提高淀积速率和降低淀积温度而被人们所重视。该文根据非平衡热力学耦合理论模型计算得到了碳氢氧体系金刚石生长的投影相图，与大量的实验结果比较相符合。讨论了氧原子在金刚石淀积过程中的作用，计算结果可以为金刚石生长实验提供定量化的条件选择和优化的依据。