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本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.
微型机电系统的技术特点及其产业化分析
【摘 要】
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本文概述了微型机电系统的发展与技术特点,产业化、国防应用和基础研究的问题,以及我国微型机电系统的现状.国际上微型机电系统技术刚刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好
【机 构】
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清华大学
【出 处】
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第四届全国微米/纳米技术学术会议
【发表日期】
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2000年6期
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