【摘 要】
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用2 key的氩离子对聚酰亚胺进行表面注入,注入剂量分别为5×1011、1×1012、和3×1012ions/cm2。氩离子注入后,用原子力显微镜分析聚酰亚胺表面的形貌变化。然后用离子溅射镀
【机 构】
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北京师范大学射线束技术与材料改性教育部重点实验室 北京 100875 北京师范大学核科学与技术学院 北京 100875 清华大学材料科学与工程系 北京 100084
【出 处】
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2010全国荷电粒子源、粒子束学术会议
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用2 key的氩离子对聚酰亚胺进行表面注入,注入剂量分别为5×1011、1×1012、和3×1012ions/cm2。氩离子注入后,用原子力显微镜分析聚酰亚胺表面的形貌变化。然后用离子溅射镀膜法,在聚酰亚胺表面均匀地沉积一层Ti-Cr合金膜,用台阶仪、SEM等进行测试分析。结果表明,该合金膜的厚度为186 nm,膜表面平整,无缺陷。对该合金膜的结合力,采用常规的方法进行测试,其结合力为0.82 kg/cm2。然后将试样加热到120℃,保温144小时后,其结合力为0.80kg/cm2。结合力的测试表明,该合金膜与聚酰亚胺的结合强度比较高,在经过六天的热疲劳试验后,仍然能够保持较高的结合力。
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