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透明导电薄膜(Transparent Conducting Oxide)作为一种新型的薄膜材料，具有广阔的应用前景和发展潜力。为了获得优异的透明导电薄膜，各种各样的透明导电薄膜不断涌现。本文综述了透明导电薄膜的发展历史、种类性能、研究及应用状况。重点介绍氧化锌透明导电薄膜的结构、性质、制备方法以及对制备出来的氧化锌透明导电薄膜利用XRD、AFM进行检测和表征，最后展望了氧化锌导电薄膜的发展方向。