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该文介绍了运用光辐射显微镜对半导体器件进行失效分析和缺陷定位的两个实例。分析过程快速、简便，失效定位准确、直观，显示了光辐射显微技术在失效分析、尤其是失效定位方面的优越功能。
运用光辐射显微镜进行失效定位
【摘 要】
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该文介绍了运用光辐射显微镜对半导体器件进行失效分析和缺陷定位的两个实例。分析过程快速、简便，失效定位准确、直观，显示了光辐射显微技术在失效分析、尤其是失效定位方面的
【机 构】
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部五所分析中心(广州)
【出 处】
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第七届全国可靠性物理学术讨论会
【发表日期】
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1997年期
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