【摘 要】
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本文对双极型模拟集成电路工艺控制技术(SPC)及其在工艺流水线上的研制和运用进行详细的阐述对SPC的研究及运用中遇到的问题和好处一起作了详细的讨论.已建立起关键工艺的实
【出 处】
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第十二届全国半导体集成电路硅材料学术会议
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本文对双极型模拟集成电路工艺控制技术(SPC)及其在工艺流水线上的研制和运用进行详细的阐述对SPC的研究及运用中遇到的问题和好处一起作了详细的讨论.已建立起关键工艺的实用性工艺模型.通过对SPC的研究,使产品质量的可靠性和稳定性得到提高.并阐明由于双极型模拟集成电路工艺的相关性使SPC不能孤立使用,而且对工艺SPC的研究是一个长期持久的工作,只有不断努力,才能使工艺真正处于受控状态.
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